檢測不到掩膜夾具翻轉信號：
1、檢查翻面信號源位置
2、將翻面輸入信號人工短接，使用翻面檢測功能，計算機能檢測到信號時，證明問題在翻面控制開關上，根據情況做相應處理。檢測不到信號首先檢查線路，然后更換控制卡。
掩膜夾具翻轉不穩定:
1、檢查翻板的初始位置是否符合時機
2、檢測翻面控制開關工作是否穩定，可用指針萬用表跟蹤監測。
3、檢查翻轉機構動作是否靈活可靠
4、檢查翻面信號次數設置
5、檢查旋轉工作臺是否與鐘罩內壁有磨擦現象
6、檢測旋轉工作臺在轉動時的穩定性
在同一掩膜夾具頻率散差大:
1. 檢查晶片本身是否散差大
2. 檢查膜層修正板位置是否變動,重新調節修正板
3．檢查一下擋板在開、關時是否完全遮擋住鉬舟
4．檢查一下轟擊環是否完遮擋住鉬舟
5、檢查鉬舟使用是否符合要求，要采用圓形鉬舟
鍋與鍋之間頻率散差大:
1、觀察一下監控片是否存在跳頻現象
2、反復測量統一監控片觀察振蕩器的穩定性（不超過75Hz）
3、檢查冷卻水是否通暢
4、檢查鉬舟使用是否符合要求，要采用圓形鉬舟
5、監控片選用是否符合要求，建議采用我公司的監控片
鍍膜頻率不停止:
1、檢查頻率參數設置是否正確
2、鉬舟電流表是否有指示
3、鉬舟中是否有銀
4、監控片是否跳頻
5、修正系數是否錯誤
6、在出現非正常退后是否更換過監控片
測試不到頻率:
1、更換一下監控片
2、檢查一下測試彈片是否變形
3、用一只5MHz的晶體直接插入振蕩器輸入端測量頻率，若有頻率證明是探頭問題，若無頻率，用計數器測量一下振蕩器輸出頻率是否異常，無正常輸出證明振蕩器有問題，有正常輸出但計算機無顯示證明控制卡有問題。
控制閥均不動作:
1. 檢查5V電源是否有輸出，是否接好
2. 檢查固態繼電器板上電源公共端是否有電
控制閥個別不動作
1、檢查相應的固態繼電器是否有輸出
未達到真空度就工作:
1、數字真空計出現不正常數字，且30秒內無變化，例如0.00-4（國產真空計常見）現象
2、指針表在真空計打開30秒后，黑色指針仍不擺動
監控片使用原則
1、監控片表面要清洗干凈
2、監控片要隨用隨鍍，空氣中暴露12小時以上禁止使用
3、監控片及其表面存在存在缺陷的禁止使用
4、使用過程中要記錄好使用批次，嚴禁出現新舊混用
5、監控片反復使用壽命為3次。
