真空鍍膜機廠家真空鍍膜設(shè)備鍍膜機的設(shè)計及改造
真空鍍膜機廠家真空鍍膜設(shè)備鍍膜室采用立式前開門結(jié)構(gòu)，內(nèi)腔尺寸：800 mm(直徑)×800 mm(長)，外壁通冷卻水。鍍膜機采用分子泵抽氣，減少了返油污染，結(jié)合力好，無斑點;安裝了分別使用30 kW 中頻濺射電源和3 kW 多弧電源的非平衡磁控濺射圓柱對靶和多弧圓柱靶;工件夾具采用往復(fù)式鼠籠式工件籃，無需掛具，裝件量大，可鍍制六面體結(jié)構(gòu)的工件；偏壓電源使用10 kW直流脈沖電源，可通過調(diào)節(jié)功率和占空比改變鍍膜工藝，提高膜層的附著力;電控采用PLC+ 觸摸屏控制系統(tǒng)，整個系統(tǒng)具有泵閥互鎖、防爆、互保護功能可實現(xiàn)全自動真空鍍膜。圖1是鍍膜機結(jié)構(gòu)原理示意圖。
真空鍍膜機廠家真空鍍膜設(shè)備鼠籠式往復(fù)擺線工件籃的結(jié)構(gòu)
真空鍍膜機廠家真空鍍膜設(shè)備真空鍍膜在取代電鍍時面臨的最大挑戰(zhàn)是膜層制備的繞射性。由于真空鍍膜是在真空中完成薄膜的制備，膜層的沉積為平行于蒸發(fā)源，工件必須面對蒸發(fā)源，多采用掛件結(jié)構(gòu)，垂直面的沉積速率即使在繞射性較好的磁控濺射也僅為平行于蒸發(fā)源的平面沉積速率的五分之一。此，真空鍍膜多適用于平面較多的工件或圓形工件，不能用于結(jié)構(gòu)復(fù)雜的工件，這些都大大限制了真空鍍膜替代水電鍍的應(yīng)用，減慢了綠色環(huán)保的真空鍍膜應(yīng)用的步伐。對于緊固件這種六個面都需要鍍膜的工件，通常使用的真空鍍膜夾、卡、掛會使工件表面出現(xiàn)未鍍膜的盲點，形成酸堿和水汽及氧分子的侵蝕點，形成的侵蝕點會加劇緊固件的腐蝕，因此無法采用真空鍍膜常用的夾、卡、掛等方式固定工件。
為了解決這一難題，本項目研究設(shè)計了獨特的鼠籠式工件籃，把螺釘螺栓等緊固件裝在工件籃內(nèi)，籃內(nèi)布有翻轉(zhuǎn)擋板，當(dāng)鼠籠工件籃擺線往復(fù)運動時，緊固件翻轉(zhuǎn)，形成新的面對沉積源的面，多層不停的翻轉(zhuǎn)，從而實現(xiàn)對緊固件每個面均勻鍍膜。圖2 和圖3 分別是工件藍和工件藍擺線動作示意圖。
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